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kurabo液體成分濃度計的技術(shù)特點

發(fā)布時間:2022-08-16 點擊量:1259

kurabo液體成分濃度計的技術(shù)特點

 

ChemicAlyzer 是一種液體成分濃度計,采用采用光吸收原理的在線設計實現(xiàn)連續(xù)測量。自 1990 年以來,我們作為紅外液體成分濃度計的先*開始了我們的業(yè)務,我們利用我們豐富的專業(yè)知識和技術(shù),通過響應質(zhì)量和化學濃度的需求來應對不斷發(fā)展的半導體器件制造工藝。支持管理。

我們將通過靈活應對工藝和特殊化學品,以及通過高精度化學濃度測量“提前應對測量需求”,繼續(xù)為優(yōu)化制造工藝做出貢獻。

1.高質(zhì)量

為每個測量目標選擇*佳波長并為每個設備創(chuàng)建校準曲線。

我們提供通過檢驗測試的穩(wěn)定產(chǎn)品,機器差異很小。

 

2.高性能

ChemicAlyzer 是一款高性能密度計,具有出色的響應性和分辨率。

濃度控制是可能的,即使是快速分解的成分的最輕微變化也不會被忽視。

3.耐久性

有助于長期降低運行成本。

我們提供支持已超過 10 年,并擁有良好的業(yè)績記錄。

晶圓制造工藝

?抗蝕劑剝離劑的濃度控制

?酸堿清洗液的濃度控制

半導體制造工藝

?再生化學品的濃度管理

?氧化膜/氮化膜蝕刻液的濃度控制

標準型 Pro
-2(KIS 系列)

  • 型號:KIS-2□-R[-備注]
    (□是表示化學種類的符號。)

    設備配置 融合的
    設備尺寸 W201 x D340 x H198 [毫米]
    設備重量 約11公斤
    安裝環(huán)境 地方 半導體制造工廠無塵室或同等設備
    環(huán)境溫度 20 至 30°C(無冷凝)
    電源 AC100-220V 80W

Pro-2+(KIS-P 系列)
Pro-2+(KIS-P 系列)

  • 型號:KIS-2□-RP[-備注]
    (□是表示化學種類的符號。)

    設備配置 一體型 (*1)
    設備尺寸 W270 x D340 x H257 [毫米]
    設備重量 約16公斤
    安裝環(huán)境 地方 半導體制造工廠無塵室或同等設備
    環(huán)境溫度 20 至 30°C(無冷凝)
    電源 100-220V 100W

高性能型號 Ace-3(KIS-A 系列

  • 型號:KIS-2□-A[-備注]
    (□是表示化學種類的符號。)

    設備配置 融合的
    設備尺寸 W250 x D330 x H282 [毫米]
    設備重量 約15公斤
    安裝環(huán)境 地方 半導體制造工廠無塵室或同等設備
    環(huán)境溫度 20 至 30°C(無冷凝)
    電源 DC24V 100W

RD-20 系列 (RD-10/20/30)
RD-20 系列 (RD-10/20/30)

  • 型號:RD-2□[-備注]
    (□是表示化學種類的符號。)

    設備配置 一體型 (*1)
    設備尺寸 W176 x D288 x H176 [毫米]
    設備重量 約6公斤
    安裝環(huán)境 地方 室內(nèi)環(huán)境,無振動或腐蝕性環(huán)境
    環(huán)境溫度 10 至 30°C(無冷凝)
    電源 DC24V 30W

TECH(TM 系列)
TECH(TM 系列)

  • 型號:TM-2□-A-FS[-備注]
    (□是表示化學種類的符號。)

    設備配置 分離細胞類型
    設備尺寸 W196 x D340 x H260 [毫米]
    設備重量 約11公斤
    安裝環(huán)境 地方 半導體制造工廠無塵室或同等設備
    環(huán)境溫度 20 至 30°C(無冷凝)
    電源 AC100-220V 80W

 

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